鄭州半導(dǎo)體、電子潔凈廠房設(shè)計與施工要求

發(fā)布時間：2023-04-15 09:29:17

鄭州半導(dǎo)體、電子潔凈廠房設(shè)計與施工要求文章概要：這個表格是我們半導(dǎo)體制造一些工藝生產(chǎn)過程的潔凈等級要求，要求一般的是光照制造，還有微環(huán)境，其他的一些大的區(qū)域，包括薄膜等在百級。潔凈度的要求是不是越高越好，這個主要還是決定我們的設(shè)計，或者對生產(chǎn)的要求，潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會成倍的增加。目前對一些潔凈室的設(shè)計還是大環(huán)境，不需要很高的潔凈度。還有

這個表格是我們半導(dǎo)體制造一些工藝生產(chǎn)過程的潔凈等級要求，要求一般的是光照制造，還有微環(huán)境，其他的一些大的區(qū)域，包括薄膜等在百級。潔凈度的要求是不是越高越好，這個主要還是決定我們的設(shè)計，或者對生產(chǎn)的要求，潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會成倍的增加。

目前對一些潔凈室的設(shè)計還是大環(huán)境，不需要很高的潔凈度。還有濕度控制，濕度控制主要通過循環(huán)通氣冷卻系統(tǒng)，去除潔凈室循環(huán)空氣的顯熱，**終控制潔凈室溫度。濕度控制主要通過新風(fēng)控制箱進(jìn)行控制，溫度的控制目的有兩個，是人員的舒適性，溫度在21-23度都沒有問題，作為制程來說我們關(guān)注的是波動性?？刂茲崈舴康臐穸戎饕康氖菨穸冗^低將容易產(chǎn)生靜電、濕度過高，對產(chǎn)品的影響。第二點是正壓，通過潔凈室內(nèi)的壓力傳感器控制MAU風(fēng)機(jī)的頻率改變送風(fēng)量保持潔凈室的設(shè)定正壓，靜壓層保持微正壓。

再來就是照度和噪聲，這個部分在新的標(biāo)準(zhǔn)里面有詳細(xì)的描述，這里不具體講了。因為現(xiàn)在半導(dǎo)體制造設(shè)備尺寸越來越大，安裝起來一部分照明會被遮掩，噪聲的問題比較難解決，主要在設(shè)備選型的時候注意。接下來是靜電控制的問題(ESD)，這個本身會造成產(chǎn)品的損害或者設(shè)備的損害，半導(dǎo)體有ESD的標(biāo)準(zhǔn)。

山東盛之源凈化設(shè)備有限公司在各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域工程建設(shè)的道路上繼續(xù)堅持以科技為向?qū)?，以質(zhì)量為準(zhǔn)則，以客戶滿意為宗旨，嚴(yán)格遵守和落實**:2000標(biāo)準(zhǔn)、《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》以及**規(guī)范要求，全過程項目管控，以項目類型為定調(diào)，定制化項目設(shè)計、實施的全產(chǎn)業(yè)化流程，解決客戶痛點，憑借自身的技術(shù)及經(jīng)驗為客戶提供完備的環(huán)境控制工程整體系統(tǒng)集成解決方案的**服務(wù)。